Epitaksija
Epi ("virs" - grieķu val.) + taxis ("novietojums" - grieķu val.).
Orientēta viena kristāla augšana uz cita kristāla (paliktņa) virsmas.
Epitaksijas priekšnosacījums ir paliktņa un augošā kristāla ģeometriskās struktūras līdzība. Izšķir autoepitaksiju (augošā kristāla un paliktņa ķīmiskais sastāvs ir identisks) un heteroepitaksiju (kristālu ķīmiskais sastāvs ir atšķirīgs).
Epitaksiju izmanto mikroelektronikā plānu monokristālisko kārtiņu iegūšanai planārajā tehnoloģijā, integrālo shēmu daudzslāņu struktūras iegūšanai.
Saites.
Kristāli.
