Fotolitgrāfija, elektronikā
- Detaļas
- Publicēts 07 Decembris 2025
- Autors Redaktors
Elektronikā - fotoķīmisks process, kurā, izmantojot gaismjūtīgu aizsargslāni (fotorezistu), uz pusvadītāja vai kāda cita materiāla virsmas iegūst noteiktu mikroreljefu, kas atbilst veidojamās integrālās shēmas elementu kofigurācijai.
Elektroniskā fotolitogrāfija ir planārās tehnoloģijas sastāvdaļa un sniedz iespēju veikt pusvadītājmateriālu sagatavju grupveida apstrādi un nodrošina precīzus ierīču struktūrelementu izmērus. Izmantojot ultravioleto starojumu, iegūto elementu minimālie izmēri ir 1,5-2 mī,m. Sīkāku mikroreljefu veido ar elektronlitogrāfiju vai rentgenlitogrāfiju.
